[发明专利]涡轮分子泵

摘要

本发明提供一种涡轮分子泵，包括：冷却隔片(23b)，配置在最下段的隔片与基座(20)之间，且具备供冷却液流通的隔片冷却管(45)；加热器(42)，使螺纹定子升温；温度传感器(43)，检测螺纹定子的温度；以及基座冷却管(46)，串联连接于隔片冷却管(45)，使基座(20)冷却；且所述涡轮分子泵包括作为温度控制部的调温用控制器(51)，所述调温用控制器(51)控制冷却液向串联连接的隔片冷却管(45)及基座冷却管(46)的流通与加热器(42)的通电，而将螺纹定子(24)的温度维持在规定温度。根据本发明，可同时实现大流量排气及防止产物堆积。

主权项

一种涡轮分子泵，其特征在于包括：转子，形成有多段旋转叶片与圆筒部；多段固定叶片，相对于所述多段旋转叶片而交替地配置；多个隔片，通过积层而将所述多段固定叶片定位；定子，相对于所述圆筒部隔着间隙而配置；基座，固定所述定子；隔片冷却部，以与积层的所述隔片的最下段隔片接触的方式配置在所述最下段隔片与所述基座之间，且具有供冷却液流通的第一流路；加热器，使所述定子升温；温度传感器，检测所述定子的温度；基座冷却部，形成有与所述第一流路串联连接的第二流路，使所述基座冷却；以及温度控制部，控制所述冷却液向串联连接的所述第一流路及所述第二流路的流通与所述加热器的通电，而将所述定子的温度维持在规定温度。