[发明专利]光波导器件

摘要

提供一种光波导器件，在脊型光波导的设计比较容易的加载型光波导器件中，加载的脊部与介电体层的附着性高、并且难以出现脊部破损或粗糙。光波导器件(1)包含：由选自铌酸锂、钽酸锂、铌酸锂‑钽酸锂、钇铝石榴石、钒酸钇及钒酸钆、钨酸钾钆及钨酸钾钇构成的群的光学材料所构成的介电体层(3)；以及加载在介电体层(3)上的脊部(5)。脊部(5)由五氧化二钽构成，沿垂直于光的传播方向的横截面切开时呈梯形，脊部在胶带剥离试验中不会剥离。

主权项

1.一种光波导器件，其特征在于，包含：由选自铌酸锂、钽酸锂、铌酸锂‑钽酸锂、钇铝石榴石、钒酸钇、钒酸钆、钨酸钾钆以及钨酸钾钇构成的群的光学材料所构成的介电体层；以及加载在该介电体层上的脊部，该脊部由五氧化二钽构成，沿垂直于光的传播方向的横截面切开时呈梯形，所述脊部在基于JIS H8504试验的胶带剥离试验中不会从所述介电体层剥离，沿垂直于光的传播方向的横截面切开时，所述脊部具备上表面和一对倾斜面，所述倾斜面的倾斜角为45°以上、80°以下，所述脊部的上表面的宽度为3～8μm。