[发明专利]一种热释电红外探测器敏感单元及其制造方法

摘要

本发明实施例公开了一种制造热释电红外探测器敏感单元的方法，包括：制备钽酸锂晶片衬底；在钽酸锂晶片衬底的第一表面上形成铬金属薄膜；在铬金属薄膜上形成镍金属薄膜；在镍金属薄膜上形成第一铬镍合金层并刻蚀形成上电极；在钽酸锂晶片衬底的第二表面上形成第二铬镍合金层并刻蚀形成下电极。根据本发明的实施例的方法制造的热释电红外探测器敏感单元的吸收层具有附着牢固、重复性好、吸收波段宽、光谱平坦、吸收率高、比热容小、传热性能优良的优点。同时吸收层可兼做电极，适合作为热释电红外探测器的吸收层。

主权项

一种制造热释电红外探测器敏感单元的方法，其特征在于，包括：制备钽酸锂晶片衬底，所述钽酸锂晶片衬底包括第一表面和与所述第一表面相反的第二表面，并在所述第一表面上形成第一图形；在所述第一表面上形成铬金属薄膜；在所述铬金属薄膜上形成镍金属薄膜，并在所述镍金属薄膜上形成第二图形；在所述镍金属薄膜上形成第一铬镍合金层，并在所述第一铬镍合金层上形成第三图形；在所述第一铬镍合金层上刻蚀形成上电极；在所述第二表面上形成第二铬镍合金层，并在所述第二铬镍合金层上形成第四图形；在所述第二铬镍合金层上刻蚀形成下电极。