[发明专利]一种采用低温等离子技术净化工业废气的方法及设备

摘要

本发明提供了一种采用低温等离子技术净化工业废气的方法及设备，该设备包含预处理装置、低温等离子体净化装置、风机和喷淋塔，所述预处理装置、低温等离子体净化装置、风机和喷淋塔依次顺接，所述低温等离子体净化装置由若干低温等离子体反应室组成，这些低温等离子体反应室可以根据处理工业废气的特点进行串联或并联连通使用。本发明对工业废气的净化效果明显，安全性高，适宜在各类工业废气治理中进行推广与应用。

主权项

一种采用低温等离子技术净化工业废气的方法，其特征在于，包含如下步骤：将待处理的工业废气通过一预处理装置进行第一级净化；将经过第一级净化的工业废气通入一低温等离子体净化装置进行第二级净化；以及将经过第二级净化的工业废气通过一喷淋塔进行第三级净化；其中，所述低温等离子体净化装置与所述喷淋塔之间设置有一风机，使所述低温等离子体净化装置保持负压状态。