[发明专利]表面轮廓的测量方法在审
| 申请号： | 201410659987.8 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104344802A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 刘杰波 | 申请（专利权）人： | 刘杰波 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国;黄胡生 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种表面轮廓的测量方法，包括：步骤S10、提供测量装置，所述测量装置包括一个测量设备及至少一个运动装置，所述测量设备安装于所述运动装置上；步骤S20、提供标准件，所述标准件具有至少一个光滑平面；步骤S30、所述运动装置驱动所述测量设备按照预设的路径对所述标准件的光滑平面进行测量，得到补正数据；步骤S40、按上述步骤S30，至得到对应所有预设路径的补正数据，生成数据组；步骤S50、提供待测量工件，并选择路径对所述待测量工件进行测量，得到第一测量数据；步骤60、在所述数据组中调取与所述选择路径相匹配的或覆盖所述选择路径的预设路径对应的补正数据，并将所述补正数据补正到所述第一测量数据中。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 轮廓 测量方法 | ||
【主权项】：
一种表面轮廓的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S10、提供测量装置，所述测量装置包括一个测量设备及至少一个运动装置，所述测量设备安装于所述运动装置上；步骤S20、提供标准件，所述标准件具有至少一个光滑平面；步骤S30、所述运动装置驱动所述测量设备按照预设的路径对所述标准件的光滑平面进行测量，得到补正数据；步骤S40、按上述步骤S30，至得到对应所有预设路径的补正数据，生成数据组；步骤S50、提供待测量工件，并选择路径对所述待测量工件进行测量，得到第一测量数据；步骤60、在所述数据组中调取与所述选择路径相匹配的或覆盖所述选择路径的预设路径对应的补正数据，并将所述补正数据补正到所述第一测量数据中。
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