[发明专利]吸嘴结构以及吸附方法

摘要

本发明提供防止在吸附的部件的中心附着尘埃的吸嘴结构及吸附方法。吸嘴通过吸引气体以产生负压，借助负压吸附透镜，然后喷出气体以解除对透镜的吸附。吸嘴具有：基端通道，引导吸引或喷出的气体；中心通道，使基端通道与中心开口连接，将吸引的气体从中心开口引导至基端通道，中心开口与透镜的中心相对；周围通道，使基端通道与位于中心开口的周围的周围开口连接，将吸引的气体从周围开口引导至基端通道，另一方面，将喷出的气体从基端通道引导至周围开口；阀，设于基端通道与中心通道的连接部分，在吸引气体时使基端通道与中心通道连接，允许从中心开口吸引气体，另一方面，在喷出气体时，使基端通道与中心通道断开，拒绝从中心开口喷出气体。

主权项

一种吸嘴结构，通过吸引气体以产生负压，借助该负压吸附部件，然后，喷出气体以解除对所述部件的吸附，其特征在于，具有：基端通道，引导吸引或喷出的气体；中心通道，使所述基端通道与中心开口相连接，将吸引的气体从所述中心开口引导至所述基端通道，所述中心开口与所述部件的大致中心相对；周围通道，使所述基端通道与位于所述中心开口的周围的周围开口相连接，将吸引的气体从所述周围开口引导至所述基端通道，另一方面，将喷出的气体从所述基端通道引导至所述周围开口；阀，设置于所述基端通道与所述中心通道之间的连接部分，在吸引气体时使所述基端通道与所述中心通道相互连接，允许从所述中心开口吸引气体，另一方面，在喷出气体时，使所述基端通道与所述中心通道相互断开，拒绝从所述中心开口喷出气体。