[发明专利]半导体器件结构及制造方法在审
申请号: | 201410566501.6 | 申请日: | 2014-10-22 |
公开(公告)号: | CN104916617A | 公开(公告)日: | 2015-09-16 |
发明(设计)人: | 李立国;刘永盛;刘宜臻;赖怡仁;陈俊仁;郑锡圭 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供了半导体器件结构及制造方法。该半导体器件结构包括半导体衬底和位于半导体衬底上方的介电层。该半导体器件结构还包括位于介电层上方的导电迹线。该半导体器件结构还包括位于导电迹线上方的导电部件,并且导电部件的宽度基本上等于或大于导电迹线的最大宽度。另外,该半导体器件结构包括位于导电部件上方的导电凸块。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 结构 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体器件结构,包括:半导体衬底;介电层,位于所述半导体衬底上方;导电迹线,位于所述介电层上方;导电部件,位于所述导电迹线上方,其中,所述导电部件的宽度基本上等于或大于所述导电迹线的最大宽度;以及导电凸块,位于所述导电部件上方。
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