[发明专利]用于工程改变数据分析的方法和系统

摘要

本发明提供一种用于工程改变数据分析的方法和系统，涉及半导体技术领域。所述用于工程改变数据分析的方法包括在线数据分析、缺陷数据分析、晶圆验收测试数据分析以及良率数据分析，还包括当工程改变等级涉及可靠性时，进行晶圆分类原始数据分析。所述用于工程改变数据分析的系统包括在线数据分析单元、缺陷数据分析单元、晶圆验收测试数据分析单元以及良率数据分析单元，还包括晶圆分类原始数据分析单元，用于当工程改变等级涉及可靠性时进行晶圆分类原始数据分析。上述方法和系统在工程改变数据分析中加入了对晶圆分类原始数据的分析，能够更为准确地得出新制程对工艺改变带来的影响。

主权项

1.一种用于工程改变数据分析的方法，包括在线数据分析、缺陷数据分析、晶圆验收测试数据分析以及良率数据分析，其特征在于，所述方法还包括：当工程改变等级涉及可靠性时，进行晶圆分类原始数据分析；所述晶圆分类原始数据分析进一步包括：从所述晶圆分类原始数据中选择具有代表性的数据；针对所选择的数据，基于T检验值、平均值变动系数以及方差比来分析比对实验组数据和参照组数据；以及基于所述分析比对的结果，计算所述实验组数据和所述参照组数据的匹配率，所述匹配率反映所述实验组数据和所述参照组数据的相似度。