[发明专利]曝光装置及离焦倾斜误差补偿方法

摘要

本发明提供了一种曝光装置及离焦倾斜误差补偿方法中，通过在每个对准测量传感器都设置有一个与其对应的调焦测量传感器，并且每个对准测量传感器与其所对应的调焦测量传感器在第一方向上的坐标相同，使得对准测量传感器与调焦测量传感器两者位于同一条直线上，此时调焦测量信息与对准测量信息可共同表征对准标记，以便对对准测量信息存在误差时进行修正，完成离焦倾斜误差的补偿，极大的提高了对准精度，提高产品良率。

主权项

1.一种曝光装置，其特征在于，包括掩模承载台、投影物镜阵列、基底承载台以及位于基底承载台上的对准基准板，还包括：若干对准测量传感器，沿第一方向排列，用于探测基底上的对准标记来获取基底的对准测量信息和探测所述对准基准板上的基准板对准标记来获取对准测量传感器的最佳测量平面；若干调焦测量传感器，用于探测基底的调焦测量信息以及探测所述对准基准板上的基准板对准标记来获取调焦测量传感器的零平面，每个对准测量传感器都有一个与其对应的调焦测量传感器，并且每个对准测量传感器与其所对应的调焦测量传感器在第一方向上的坐标相同且测量的对象为同一个对准标记；所述对准基准板用于辅助测量对准测量传感器的对准测量光轴倾斜量。