[发明专利]一种显影装置及显影方法在审
| 申请号： | 201410505628.7 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN104281015A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 刘明悬;张小祥;张治超;刘正;陈曦;郭总杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/38 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影装置及显影方法，涉及显示面板制作技术领域。所述显影装置包括：滑动安装在显影腔室底部、可对进入所述显影腔室内的基板进行加热的加热装置，且所述加热装置施加在所述基板的周边区域的温度小于施加在所述基板的中部区域的温度；与所述加热装置连接的驱动装置；检测进入所述显影腔室内的所述基板是否与所述加热装置正对的传感器；分别与所述驱动装置和所述传感器信号连接的控制装置，当所述传感器检测到进入所述显影腔室内的所述基板与所述加热装置正对时，所述控制装置控制所述驱动装置驱动所述加热装置与所述基板同步水平移动。采用本发明提供的显影装置对基板进行显影时提升了显影的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种显影装置，其特征在于，包括：滑动安装在显影腔室底部、可对进入所述显影腔室内的基板进行加热的加热装置，且所述加热装置施加在所述基板的周边区域的温度小于施加在所述基板的中部区域的温度；与所述加热装置连接的驱动装置；检测进入所述显影腔室内的所述基板是否与所述加热装置正对的传感器；分别与所述驱动装置和所述传感器信号连接的控制装置，当所述传感器检测到进入所述显影腔室内的所述基板与所述加热装置正对时，所述控制装置控制所述驱动装置驱动所述加热装置与所述基板同步水平移动。
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