[发明专利]伸缩籽晶杆在审
申请号: | 201410490282.8 | 申请日: | 2014-09-23 |
公开(公告)号: | CN105506732A | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 吕立强 | 申请(专利权)人: | 上海朗兆机电设备有限公司 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 沈履君 |
地址: | 201415 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明伸缩籽晶杆,包括:籽晶杆套,籽晶杆套为中空设计;导向销,导向销设置在籽晶杆套内;籽晶杆,籽晶杆设置在籽晶杆套的内腔;籽晶杆的一端从下部与导向销连接;拉绳,拉绳设置在籽晶杆套的内腔;籽晶杆的一端从上部与导向销连接。在籽晶杆套内设有导向槽,导向槽沿着籽晶杆套的轴向设置。拉绳为钨绳。本发明将晶体生长行程和晶体出炉行程分开,为此设计的籽晶杆套,可使籽晶杆可以在中间上下运动,部分运动精度不是很高,这种籽晶杆上下运动用在晶体出炉时;籽晶杆相对籽晶杆套停在一个适当的位置时,相对静止成为一体,籽晶杆和籽晶杆套一起做精度更高的上下运动,这段更高精度的运动可以应用于晶体生长阶段。 | ||
搜索关键词: | 伸缩 籽晶 | ||
【主权项】:
伸缩籽晶杆,其特征在于,包括:籽晶杆套,所述籽晶杆套为中空设计;导向销,所述导向销设置在所述籽晶杆套内;籽晶杆,所述籽晶杆设置在所述籽晶杆套的内腔;所述籽晶杆的一端从下部与所述导向销连接;拉绳,所述拉绳设置在所述籽晶杆套的内腔;所述籽晶杆的一端从上部与所述导向销连接。
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