[发明专利]芯片贴装机及粘接剂涂覆方法有效
申请号: | 201410453347.1 | 申请日: | 2014-09-05 |
公开(公告)号: | CN104517861B | 公开(公告)日: | 2017-08-25 |
发明(设计)人: | 望月政幸;井出桐人;依田光央 | 申请(专利权)人: | 捷进科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/52 | 分类号: | H01L21/52;H01L21/67;H01L21/677;B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 陈伟,金杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种芯片贴装机及粘接剂涂覆方法,其通过使用例如具有2个预成型部(PH)的芯片贴装机而能够缩短描绘时间,且能够减少2个PH的动作所导致的装置振动。将粘接剂的涂覆区域划分为第1涂覆区域和第2涂覆区域,具有对所述第1涂覆区域涂覆所述粘接剂的第1预成型部,以及向所述第2涂覆区域涂覆所述粘接剂的第2预成型部,在所述第1预成型部为了向所述第1涂覆区域涂覆所述粘接剂而沿X轴方向及Y轴方向移动进行粘接剂涂覆的情况下,所述第2预成型部为了向所述第2涂覆区域涂覆所述粘接剂,相对于所述第1预成型部所移动的X轴方向及Y轴方向同时向相反方向等距离移动而进行粘接剂涂覆。 | ||
搜索关键词: | 芯片 装机 粘接剂涂覆 方法 | ||
【主权项】:
一种芯片贴装机,其具有:晶圆供给部,其从晶圆供给芯片;工件供给搬运部,其用于搬运被搭载对象物;芯片贴装部,其具有用于向所述被搭载对象物的涂覆区域涂覆糊状的粘接剂的预成型部、以及用于向涂覆有所述粘接剂的所述被搭载对象物搭载所述芯片的贴装头部,从而将所述芯片贴装于所述被搭载对象物;以及控制部,其控制装置内的各设备,该芯片贴装机的特征在于,所述预成型部具有第1预成型部和第2预成型部,所述第1预成型部对被划分为第1涂覆区域和第2涂覆区域的所述涂覆区域中的所述第1涂覆区域涂覆所述粘接剂,所述第2预成型部对所述第2涂覆区域涂覆所述粘接剂,在所述第1预成型部沿X轴方向及Y轴方向移动而进行粘接剂涂覆的情况下,所述第2预成型部相对于所述第1预成型部所移动的X轴方向及Y轴方向同时向相反方向等距离移动而进行粘接剂涂覆。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造