[发明专利]一种用于单晶炉的停炉冷却方法无效
| 申请号： | 201410436075.4 | 申请日： | 2014-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN104213188A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 曾世铭;高一凡;刘立中;高兆伍 | 申请（专利权）人： | 江苏拜尔特光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 李德溅;夏平 |
| 地址： | 214264*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于单晶炉的停炉冷却方法，该停炉冷却方法的步骤如下：1）在单晶炉拉制单晶结束后，首先停止加热系统供电；2）接着继续通0.5～3小时的氩气并运行真空泵以冷却单晶硅棒；3）关闭真空大阀，将氩气压力充到-0.025MPa后停止通入氩气并关闭真空泵，保压继续冷却2～4.5小时后即可拆炉。本发明通过缩短氩气通入时间、抽真空时间和保压冷却的方式，使得晶棒出炉平均温度和停炉后加热器平均温度比传统方法分别低约80℃和50ºC，制得的单晶硅棒无发脆、隐裂现象，经切片工序加工后无应力硅片，故保证了单晶硅棒的质量并提高了拆炉时的安全性，节约了氩气、电耗并延长真空泵的寿命，操作简单并易于推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶炉 冷却 方法 | ||
【主权项】：
一种用于单晶炉的停炉冷却方法，其特征在于：该停炉冷却方法的步骤如下：1）在单晶炉拉制单晶结束后，首先停止加热系统供电；2）接着继续通0.5～3小时的氩气并运行真空泵以冷却单晶硅棒；3）关闭真空大阀，将氩气压力充到‑0.025MPa后停止通入氩气并关闭真空泵，保压继续冷却2～4.5小时后即可拆炉。
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