[发明专利]剥膜机及其辗压装置

摘要

一种剥膜机及该剥膜机的辗压装置，该剥膜机包含一输送装置、一辗压装置及一剥离装置，输送装置可沿输送方向输送板件，辗压装置包括一驱动机构及一旋转辗压件，驱动机构可带动旋转辗压件沿辗压方向移动以经由板件的前端缘辗压至外表面上，使薄膜凹陷变形形成压痕，以破坏薄膜与光阻层间的黏着力，当旋转辗压件移离薄膜时，薄膜与光阻层间形成气室，气室的开口形成于前端缘与光阻层间，剥离装置包括一夹持吹气机构及一剥离机构，夹持吹气机构用以夹持前凸出部并可对开口吹气以使薄膜邻近前端缘的部位剥离光阻层，剥离机构用以衔接薄膜邻近前端缘的部位以将薄膜剥离光阻层。本发明的剥膜机及其辗压装置，剥膜方便快速，能降低光阻层及基板的受损。

主权项

一种剥膜机，适于将一板件的一薄膜由一光阻层上剥离，该薄膜具有一前端缘、一结合于该光阻层的结合面，及一相反于该结合面的外表面，该板件具有一结合于该光阻层相反于该薄膜一侧的基板，该基板具有一凸伸出该前端缘的前凸出部；其特征在于：该剥膜机包含一输送装置、一辗压装置，及一剥离装置，该输送装置可沿一由后朝前的输送方向输送该板件，该辗压装置位于该输送装置中段处，该辗压装置包括一固定框架、一设置于该固定框架的驱动机构，及一设置于该驱动机构的旋转辗压件，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿一辗压方向移动以经由该前端缘辗压至该外表面上，使该薄膜凹陷变形形成压痕，以破坏该薄膜与该光阻层间的黏着力，当该旋转辗压件移离该薄膜时，该薄膜与该光阻层间形成一气室，该气室的一开口形成于该前端缘与该光阻层间，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿该辗压方向在一位于该前凸出部与该前端缘间且对齐于该前端缘前方的初始位置，及一辗压于该外表面且间隔位于该前端缘后方的终止位置间移动，该旋转辗压件包含一呈圆盘状的辗压刀，该辗压刀包括一用以辗压该薄膜的刀尖，该剥离装置位于该辗压装置前侧，该剥离装置包括一夹持吹气机构，及一剥离机构，该夹持吹气机构用以夹持该前凸出部并可对该气室的该开口吹气以使该薄膜邻近该前端缘的部位剥离该光阻层，该剥离机构用以衔接该薄膜邻近该前端缘的部位以将该薄膜剥离该光阻层。