[发明专利]压电驻极体薄膜元件及其制备方法有效
| 申请号： | 201410383801.0 | 申请日： | 2014-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN104347791B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李彦坤;张晓青 | 申请（专利权）人： | 贝骨新材料科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/053 | 分类号： | H01L41/053;H01L41/113;H01L41/23;H01L41/25 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 200434 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了压电驻极体薄膜元件及其制备方法，该方法包括：设置导电电极：在透明的上绝缘保护膜的相对两侧上设置第二接地电极和信号电极，在透明的下绝缘保护膜的一侧上设置第一接地电极，在上、下绝缘保护膜上分别定义出压电驻极体薄膜区域和非压电驻极体薄膜区域；在第二接地电极上设置电极保护层；在压电驻极体薄膜区域中的信号电极和第一接地电极上依次压敏胶和离型膜；粘合两个非压电驻极体薄膜区；撕掉两个离型膜粘合压电驻极体薄膜；切割成型。本发明有效解决将电极直接印刷在压电驻极体薄膜时的对位难和银浆烘干时的热胀问题；适合批量化分阶段加工；提高其加工效率，也保证了压电驻极体薄膜的柔韧性能。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 驻极体 薄膜 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种压电驻极体薄膜元件，其包括压电驻极体薄膜(3)、信号电极(401)、第一接地电极(501)、上绝缘保护膜(4)、下绝缘保护膜(5)，其特征在于：上绝缘保护膜(4)、下绝缘保护膜(5)均呈透明状，信号电极(401)、第一接地电极(501)分别通过第一压敏胶(407)、第二压敏胶(503)固定在压电驻极体薄膜(3)的两个相对表面上，上绝缘保护膜(4)、下绝缘保护膜(5)分别覆盖在信号电极(401)、第一接地电极(501)上，上绝缘保护膜(4)上设置有第二接地电极(403)，第二接地电极(403)上设置电极保护层(405)，在上绝缘保护膜(4)和下绝缘保护膜(5)上分别定义出相接的压电驻极体薄膜区域(1)和非压电驻极体薄膜区域(2)，在压电驻极体薄膜区域(1)内信号电极(401)的垂直投影小于与第二接地电极(403)的垂直投影，在非压电驻极体薄膜区域(2)内信号电极(401)与第二接地电极(403)两者的引脚垂直投影错位。
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