[发明专利]制备石英坩埚的模具及工艺

摘要

本发明公开了一种制备石英坩埚的模具，模具包括模盖、四周边墙和模芯，模盖上设有与坩埚成型区相连通的浇注口，模盖以及四周边墙与模芯之间能围成坩埚成型区，模盖、四周边墙和模芯与坩埚成型区相对的部分分别设置有滤板，模盖、四周边墙和模芯的内部分别形成模腔，模腔通过滤板与坩埚成型区连通。本发明还公开了一种使用上述模具制备石英坩埚的工艺。上述制备石英坩埚的模具抗压强度及过滤精度较高，制备的石英坩埚尺寸偏差小。

主权项

一种制备石英坩埚的模具，其特征在于，所述模具包括模盖、四周边墙和模芯，所述模盖上设有与所述坩埚成型区相连通的浇注口，所述模盖以及所述四周边墙与所述模芯之间能围成坩埚成型区，所述模盖、所述四周边墙和所述模芯与所述坩埚成型区相对的部分分别设置有滤板，所述模盖、所述四周边墙和所述模芯的内部分别形成模腔，所述模腔通过所述滤板与所述坩埚成型区连通。