[发明专利]喷头调节机构在审
| 申请号： | 201410365766.X | 申请日： | 2014-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN105312176A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 张镇磊;金一诺;张怀东;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种喷头调节机构，包括：基座、调节轴、喷头固定块和喷头。基座的一端具有夹紧块，基座沿X向设置。调节轴安装在夹紧块上，调节轴能相对于夹紧块绕Z向轴旋转，调节轴还能相对于夹紧块沿Z向轴移动。喷头固定块转动安装在调节轴的底端，喷头固定块能相对于调节轴绕Y向轴旋转。喷头安装在喷头固定块上，喷头的喷嘴位于喷头固定块的第一侧，喷头的接头位于喷头固定块的第二侧。本发明的喷头调节机构结构简单可靠、占空空间小、紧凑，并且能够提供在三维空间内的旋转功能，适合于在半导体设备中使用。 | ||
| 搜索关键词： | 喷头 调节 机构 | ||
【主权项】：
一种喷头调节机构，其特征在于，包括：基座，基座的一端具有夹紧块，基座沿X向设置；调节轴，调节轴安装在夹紧块上，调节轴能相对于夹紧块绕Z向轴旋转，调节轴还能相对于夹紧块沿Z向轴移动；喷头固定块，转动安装在调节轴的底端，喷头固定块能相对于调节轴绕Y向轴旋转；喷头，安装在喷头固定块上，喷头的喷嘴位于喷头固定块的第一侧，喷头的接头位于喷头固定块的第二侧。
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