[发明专利]采用d15剪切模式的压电驱动器及精密微动台

摘要

本发明公开了一种采用d15剪切模式的压电驱动器及包括该压电驱动器的精密微动台，属于精密驱动技术领域，所述采用d15剪切模式的压电驱动器包括压电陶瓷主体，所述压电陶瓷主体包括基板和位于所述基板上并可以产生d15剪切模式变形的第一压电陶瓷悬臂梁和第二压电陶瓷悬臂梁，所述第一压电陶瓷悬臂梁和第二压电陶瓷悬臂梁竖向设置并沿所述基板长度方向排布；所述第一压电陶瓷悬臂梁和第二压电陶瓷悬臂梁的顶端连接有用于与动子连接的第一柔性倒V形架，所述第一柔性倒V形架将所述第一压电陶瓷悬臂梁和第二压电陶瓷悬臂梁的d15剪切模式变形转换成椭圆运动轨迹。本发明的采用d15剪切模式的压电驱动器具有尺寸小；变形量大，输出力高的优点。

主权项

一种采用d15剪切模式的压电驱动器，其特征在于，包括压电陶瓷主体，所述压电陶瓷主体包括基板和位于所述基板上并可以产生d15剪切模式变形的第一压电陶瓷悬臂梁和第二压电陶瓷悬臂梁，所述第一压电陶瓷悬臂梁和第二压电陶瓷悬臂梁竖向设置并沿所述基板长度方向排布；所述第一压电陶瓷悬臂梁和第二压电陶瓷悬臂梁的顶端连接有用于与动子连接的第一柔性倒V形架，所述第一柔性倒V形架将所述第一压电陶瓷悬臂梁和第二压电陶瓷悬臂梁的d15剪切模式变形转换成椭圆运动轨迹；所述第一压电陶瓷悬臂梁和第二压电陶瓷悬臂梁的形状均为柱形长方体，其极化方向相同，均为竖直方向或水平方向；所述第一压电陶瓷悬臂梁的加电方式为：在与所述基板的长度方向垂直的两个侧面中，一个侧面连接有第一驱动信号，另一个侧面接地；所述第二压电陶瓷悬臂梁的加电方式为：在与所述第一压电陶瓷悬臂梁相同的两个侧面上对应分别连接有第二驱动信号和接地；所述第一驱动信号和第二驱动信号均为正弦信号且相位差为π/2。