[发明专利]用于OLED高温炉的石英卡夹装置及石英卡夹底板在审
| 申请号： | 201410357327.4 | 申请日： | 2014-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN104091778A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 余威 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于OLED高温炉的石英卡夹装置及石英卡夹底板，所述石英卡夹装置包括一底座、固定安装于底座上的数根石英柱、位于底座上方的石英卡夹底板及数层位于石英卡夹底板上方且卡夹于石英柱上的石英卡板；所述石英卡夹底板包括上底板、下底板及连接上、下底板的石英空柱，对应每一石英空柱设有一贯穿所述石英卡夹底板的通孔，所述通孔的直径大于所述石英柱的直径；所述上底板与下底板之间设有数根第一连接柱。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 oled 高温 石英 装置 底板 | ||
【主权项】：
一种用于OLED高温炉的石英卡夹装置，其特征在于，包括一底座(10)、固定安装于底座(10)上的数根石英柱(30)、位于底座(10)上方的石英卡夹底板(40)及数层位于石英卡夹底板(40)上方且卡夹于石英柱(30)上的石英卡板(50)；所述石英卡夹底板(40)包括上底板(41)、下底板(42)及连接上、下底板的石英空柱(70)，对应每一石英空柱(70)设有一贯穿所述石英卡夹底板(40)的通孔(43)，所述通孔(43)的直径大于所述石英柱(30)的直径；所述上底板(41)与下底板(42)之间设有数根第一连接柱(80)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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