[发明专利]一种测试夹具误差剔除方法

摘要

本发明公开一种测试夹具误差剔除方法，其包括过程1使用测试夹具夹持被测件进行测量；然后将被测件与标准件组合为校验被测件，再次使用测试夹具夹持该校验被测件进行测量；过程2利用自动端口延伸分别对被测件以及校验被测件进行测试，得到测试夹具的参数、被测件的参数以及校验被测件的参数；过程3利用校验被测件的参数对被测件的参数进行修正判定校验被测件的参数和被测件的参数的比例是否在预设区域内，如果在，则该被测件的参数为准确值，结束本次测试；如果不在，则通过去嵌入方法对被测件进行去除夹具误差。本发明采用上述方法，通过被测件以及校验被测件的比对，修正了APE对于反射测量这种方法产生的误差。

主权项

一种测试夹具误差剔除方法，使用测试夹具夹持被测件进行测量后，消除测试夹具对测量结果的影响，其特征在于：包括如下过程：过程1：使用测试夹具夹持被测件进行测量；然后将被测件与标准件组合为校验被测件，再次使用测试夹具夹持该校验被测件进行测量；其中，该标准件是开路标准器件或短路标准器件；其中，开路标准器件等效于一个未使用的测试夹具，短路标准器件相当于将一个金属板覆盖所有的接线端，使它们与测试夹具的地短路；过程2：利用自动端口延伸分别对被测件以及校验被测件进行测试，得到测试夹具的参数、被测件的参数以及校验被测件的参数；过程3：利用校验被测件的参数对被测件的参数进行修正：被测件的参数和校验被测件的参数的比值由多次实验得到结果范围值，将该结果范围值记为A，首先判定校验被测件的参数和被测件的参数的比例是否在A的区域内，如果在该区域内，则该被测件的参数为准确值，结束本次测试；如果不在该区域内，则执行过程4；过程4：测量标准件的参数获得测试夹具的S参数矩阵，然后通过矩阵运算对被测件的测量结果进行去嵌入处理，得到被测件和测试夹具的组合参数；然后利用测试夹具的S参数矩阵，将测试夹具的组合参数拆分，获得被测件的参数和测试夹具的参数。