[发明专利]利用制备三氯氢硅的装置制备三氯氢硅的方法

摘要

本发明提出了一种利用制备三氯氢硅的装置制备三氯氢硅的方法，包括：将四氯化硅和二氯二氢硅分别从四氯化硅入口和二氯二氢硅入口供给至精馏塔本体内；使精馏塔本体内的四氯化硅经过再沸器加热后转化成四氯化硅蒸汽进入反应区；使四氯化硅蒸汽与二氯二氢硅在反应区内发生反歧化反应，以便得到含有三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅的混合物；将含有三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅的混合物在精馏区内进行精馏处理，以便分离得到气态三氯氢硅；以及将气态三氯氢硅在冷凝器中进行冷凝处理，以便得到液态三氯氢硅，并将液态三氯氢硅的一部分返回至精馏区。该方法可以解决二氯二氢硅无法大规模处理的难题和二氯二氢硅转化率低的问题。

主权项

一种利用制备三氯氢硅的装置制备三氯氢硅的方法，其特征在于，所述制备三氯氢硅的装置包括：精馏塔本体，所述精馏塔本体内自上而下依次限定出精馏区、反应区和蒸馏区；四氯化硅入口，所述四氯化硅入口设置在所述精馏区和所述反应区之间；二氯二氢硅入口，所述二氯二氢硅入口设置在所述反应区和所述蒸馏区之间；重组分出口，所述重组分出口设置在所述蒸馏区的底部；轻组分出口，所述轻组分出口设置在所述精馏区的顶部；再沸器，所述再沸器具有液体入口和气体出口，并且所述液体入口与所述重组分出口相连，所述气体出口与所述蒸馏区相连；以及冷凝器，所述冷凝器具有气态轻组分入口、回流液出口和三氯氢硅出口，所述气态轻组分入口与所述轻组分出口相连，所述回流液出口与所述精馏区相连，其中，所述精馏区和所述蒸馏区内件分别独立地为筛板，所述精馏区的理论塔板数为15～18，所述蒸馏区的理论塔板数为5～8，所述反应区包括催化剂层，所述催化剂层高于2米，所述制备三氯氢硅的方法包括：将四氯化硅和二氯二氢硅分别从所述四氯化硅入口和所述二氯二氢硅入口供给至所述精馏塔本体内；使所述精馏塔本体内的所述四氯化硅经过所述再沸器加热后转化成四氯化硅蒸汽进入所述反应区；使所述四氯化硅蒸汽与所述二氯二氢硅在所述反应区内发生反歧化反应，以便得到含有三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅的混合物；将所述含有三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅的混合物在所述精馏区内进行精馏处理，以便分离得到气态三氯氢硅；以及将所述气态三氯氢硅在所述冷凝器中进行冷凝处理，以便得到液态三氯氢硅，并将所述液态三氯氢硅的一部分返回至所述精馏区。