[发明专利]激光三维成像MEMS二维扫描镜的转角测量装置及方法有效
| 申请号： | 201410341496.9 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104111041B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 孙剑;尤政;徐飞 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种扫描镜转动角度的测量方法，尤其涉及激光三维成像MEMS二维扫描镜的转角测量装置及方法，该装置包括脉冲激光器以及连续激光器，在脉冲激光器的激光光轴上设置有三号光学镜片，在连续激光器的激光光轴上设置有一号光学镜片；一号光学镜片位于脉冲激光器的激光光轴与连续激光器的激光光轴重合处；在一号光学镜片正后方设置有二维扫描镜；二维扫描镜的反射光路上依次固定有二号光学镜片以及二维PSD，二维PSD的输出端与PSD信号采集电路的输入端连接；光学镜片与采样同步电路的输入端连接，采样同步电路的输出端与PSD信号采集电路的输入端连接。本发明.结构简单，精度较高；实时性强，测量范围大。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 三维 成像 mems 二维 扫描 转角 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
激光三维成像MEMS二维扫描镜的转角测量装置，其特征在于：包括脉冲激光器(1)以及连续激光器(2)，在脉冲激光器(1)的激光光轴上设置有三号光学镜片(10)，在连续激光器(2)的激光光轴上设置有一号光学镜片(3)；所述的一号光学镜片(3)位于脉冲激光器(1)的激光光轴与连续激光器(2)的激光光轴重合处；在一号光学镜片(3)正后方设置有二维扫描镜(4)；所述的二维扫描镜(4)的反射光路上依次固定有二号光学镜片(5)以及二维PSD(6)，所述的二维PSD(6)的输出端与PSD信号采集电路(7)的输入端连接；所述的三号光学镜片(10)与采样同步电路(9)的输入端连接，采样同步电路(9)的输出端与PSD信号采集电路(7)的输入端连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410341496.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种条形码字轮直读表计度器
- 下一篇：焊锡印刷检查装置
