[发明专利]一种蓝宝石微毛细管的制备方法及其使用的模具有效
申请号: | 201410336246.6 | 申请日: | 2014-07-15 |
公开(公告)号: | CN104088011B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
发明(设计)人: | 薛鹏 | 申请(专利权)人: | 牛玥 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 | 代理人: | 杨慧玲 |
地址: | 300204 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供一种蓝宝石微毛细管的制备方法,利用边缘限定薄膜供料提拉生长技术,包括如下制备方法1)、原料的选择,选用高纯度三氧化二铝作为原料;2)、模具的加工;3)、将原料放在外模具与内模具的夹缝内,然后将模具放到钳锅内,然后将钳锅放到晶体生长炉内;4)、将晶体生长炉抽真空,升温,将三氧化二铝熔化成熔体后,熔体上升至内模顶部,开始下籽晶,进行引晶,提拉。本发明工艺避免了加工出的蓝宝石管内外壁均有气泡,需要再将内外壁含有气泡的部分打磨掉的缺点,且实现了小内径蓝宝石微毛细管的一次成型,具有工艺简单、加工方便、产品成品率高等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 毛细管 制备 方法 及其 使用 模具 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石微毛细管的制备方法,利用边缘限定薄膜供料提拉生长技术,其特征在于,包括如下制备方法:1)、原料的选择,选用高纯度三氧化二铝作为原料;2)、模具的加工,模具分为内模具和外模具两部分,内模具和外模具均是将表面加工成镜面水平,然后在内模具的顶端中间位置研磨出一个小孔,然后以小孔为基准把内模具顶端加工成锥形,然后把外模具做内倒角加工;3)、将原料放在外模具与内模具的夹缝内,然后将模具放到钳锅内,然后将钳锅放到晶体生长炉内;4)、将晶体生长炉抽真空,升温,将三氧化二铝熔化成熔体后,熔体上升至内模具顶部,开始下籽晶,进行引晶,提拉,提拉速度为每小时40~60毫米;步骤2)中,内模具顶端的小孔与内模具边缘的同心度小于0.01mm,且外模具的斜面与内模具的外壁的夹角为100~120°;内模具的小孔的直径为0.1~0.5mm,深为1~3mm;内模具与外模具之间的距离为0.1~1mm;内模具与外模具均为圆柱状,内模具的外直径为0.3~0.5mm,外模具的外直径为3~6mm。
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