[发明专利]一种带压下六氟化硫气体湿度传感器的校验平台

摘要

本发明提供一种带压下六氟化硫气体湿度传感器的校验平台，包括饱和蒸汽发生器、气源、具有减压过滤装置，其特征是：增设了真空泵、直线电机带动的气缸和传感器标准度检测装置，其中传感器标准度检测装置包括罐体、高精度传感器、电机、磁性联轴器和设置在罐体内的风扇，其中罐体上设有用于安装待检测六氟化硫湿度传感器的转接头，饱和蒸汽发生器配制出来的一定湿度、压力的饱和六氟化硫水蒸气与干燥气体注入罐体内，开启电机风扇使罐体内气体湿度均衡，由高精度传感器读出其湿度和密度，然后分析待检测六氟化硫湿度传感器的输出值，并与读出的湿度和密度进行对比，以判断待检测六氟化硫湿度传感器的准确度，并进行校验，工作性能优良。

主权项

一种带压下六氟化硫气体湿度传感器的校验平台，包括饱和蒸汽发生器、气源(1)、具有干燥功能的减压过滤装置(2)，气源(1)出口依次经减压过滤装置(2)、第一阀门(3)接饱和蒸汽发生器的第二进气口(28)，其特征在于：增设了真空泵(4)、直线电机(5)带动的气缸(6)和传感器标准度检测装置，其中传感器标准度检测装置包括罐体(7)、镜面式六氟化硫湿度传感器(8)、阻容式六氟化硫湿度密度传感器(9)、电机(10)、磁性联轴器(11)和设置在罐体(7)内的风扇(12)，其中罐体(7)上设有安全阀(13)、压力表(14)、真空计(15)、第一进气口(16)、第一出气口(17)和用于安装待检测六氟化硫湿度传感器的转接头(18)，第一进气口(16)接第一四通(19)的第一端，镜面式六氟化硫湿度传感器(8)和阻容式六氟化硫湿度密度传感器(9)均安装在罐体(7)内壁上，第一出气口(17)经第八阀门(20)接露点仪(21)，磁性联轴器(11)嵌装在罐体(7)上，磁性联轴器(11)的外转子与电机(10)的输出轴连接，内转子与风扇(12)固定连接；饱和蒸汽发生器包括设有电加热管(22)的密闭容器(23)、循环泵(24)、曝气头(25)、水箱(26)和温度传感器(27)，其中密闭容器(23)的底部设有第二进气口(28)和水口(29)，温度传感器(27)安装在密闭容器(23)内的底部，曝气头(25)安装在密闭容器(23)内、并与第二进气口(28)连通，水口(29)设有第二阀门(30)，并与水箱(26)底部连通；第二进气口(28)依次经设有第一阀门(3)和减压过滤装置(2)的管道连通气源(1)、依次经第一阀门(3)和第三阀门(32)接第一四通(19)的第二端，并经循环泵(24)接第二四通(33)的第四端；第二四通(33)的第一端连通密闭容器(23)顶部的第二出气口，第二端经设有第四阀门(35)的排气管道接大气，第三端经第五阀门(36)接三通(37)的第一端，三通(37)的第二端连通气缸(6)，第三端经第六阀门(38)连通第一四通(19)的第三端；第一四通(19)的第四端经第七阀门(34)连通真空泵(4)；气缸(6)的活塞杆与直线电机(5)的输出端固定连接。