[发明专利]树型阴极真空电弧等离子体沉积磁过滤装置

摘要

一种树型阴极真空电弧等离子体沉积磁过滤装置，它由两个以上的磁过滤支线管和一个磁过滤干线管经过合理搭配组装而成，构成树型结构。针对现有磁过滤阴极真空电弧等离子体沉积技术制备多元复合薄膜存在膜层元素成分比例不易调控并且膜层中元素比例随位置变化不一致的不足，本发明提供了一种磁过滤装置，能够同时装配两个以上的弧源，产生两种以上元素的等离子体；等离子体经磁过滤支线管过滤掉大颗粒并被磁化，再经磁过滤干线管磁场引导进入真空靶室，实现多元沉积镀膜。该装置能够分别调节不同真空电弧源的弧流对所制备薄膜的组分进行调控，制备成分比例一致、组织致密、表面光滑的多元复合薄膜。

主权项

一种树型磁过滤装置，其特征是：该装置由两个以上的磁过滤支线管和一个磁过滤干线管组成树形结构，可以装配两个以上的真空电弧源，弧源产生的等离子体通过磁过滤支线管过滤和引导后汇聚到磁过滤干线管，再经磁过滤干线管过滤和引导，进入真空靶室沉积镀膜。