[发明专利]镍铂合金靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及镍铂合金靶材的制备方法，包括依次进行的如下步骤：采用镍和铂作为原料，原料在坩埚中进行高温熔炼成镍铂合金锭；采用真空电子束将镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭；对高纯镍铂合金锭进行径向热锻和退火处理；对高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗和退火处理；对高纯镍铂合金锭进行热轧、冷轧和再结晶退火处理，形成镍铂合金靶坯；对镍铂合金靶坯进行机械加工，形成镍铂合金靶材。本发明通过高温熔炼、真空电子束熔炼、径向热锻和退火处理、纵向墩粗和退火处理、热轧冷轧和再结晶退火处理等步骤，获得了成分均匀、纯度高、晶粒细小、氧含量低的镍铂合金靶材。这样的靶材利于获得厚度均匀、颗粒少的高质量的薄膜。

主权项

 一种镍铂合金靶材的制备方法，其特征在于：包括依次进行的如下步骤：（1）、采用纯度大于等于99.99%的镍和纯度大于等于99.95%的铂作为原料，所述原料中铂含量为1 at.%~20 at.%，所述原料在坩埚中进行真空感应熔炼成镍铂合金锭；（2）、在真空度为0.3~4Pa条件下，采用真空电子束将所述的镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭；所述的高纯镍铂合金锭的纯度大于等于99.995%，氧含量低于50ppm；（3）、在950℃~1150℃下对所述的高纯镍铂合金锭进行径向热锻，然后将进行径向热锻后的高纯镍铂合金锭进行退火处理；（4）、在950℃~1150℃下对步骤（3）处理后的高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗，然后将进行纵向墩粗后的高纯镍铂合金锭进行退火处理；（5）、在600℃~800℃下对步骤（4）处理后的高纯镍铂合金锭进行热轧，然后在10℃~40℃下对热轧后的高纯镍铂合金锭进行冷轧，然后在600℃~700℃下对冷轧后的高纯镍铂合金锭进行再结晶退火处理，形成晶粒尺寸小于100μm的镍铂合金靶坯；（6）、对所述的镍铂合金靶坯进行机械加工，形成所述的镍铂合金靶材。