[发明专利]具有光学波导和二维偏转的MEMS梁的集成有效
| 申请号： | 201410252898.1 | 申请日： | 2014-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN104229722B | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | T·A·斯蒂芬;P·H·派雷;M·B·迈克沙尼 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有光学波导和二维偏转的MEMS梁的集成。描述了高密度、低功耗、高性能信息系统、方法和装置，在其中，集成电路装置包括多个位于每片芯边缘的可偏转MEMS光束波导(例如，190)，它们分别由被波导梁结构(194)包封以延伸到偏转腔(198)的光梁结构(193)并且被多个设置在偏转腔(198)的壁上的偏转电极(195‑197)周围以提供每可偏转MEMS光束波导的二维偏转控制以响应于一个或多个偏转电压的应用以提供不同的片芯之间的光学通信(例如，184)形成的。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 光学 波导 二维 偏转 mems 集成 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：可偏转MEMS光束波导，其形成于集成电路中；以及多个偏转电极，设置在所述可偏转MEMS光束波导的周围，以响应于一个或多个偏转电压的施加提供对于所述可偏转MEMS光束波导的二维偏转控制。
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