[发明专利]涂胶喷嘴自动清洗装置在审
| 申请号： | 201410235425.0 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105127156A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张镇磊;金一诺;张怀东;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 施浩 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂胶喷嘴自动清洗装置，节省清洗的时间和工作量，提升清洗的效果。其技术方案为：涂胶喷嘴自动清洗装置包括若干个安装在涂胶管附近的清洗喷头、一端连接清洗喷头的可导入清洗液的清洗管接头、位于清洗装置底部的废液排除接头。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 喷嘴 自动 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种涂胶喷嘴自动清洗装置，其特征在于，包括若干个安装在涂胶管附近的清洗喷头、一端连接清洗喷头的可导入清洗液的清洗管接头、位于清洗装置底部的废液排除接头。
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