[发明专利]一种无损检测复合膜表面功能层厚度的方法

摘要

本发明公开了一种无损检测复合膜表面功能层厚度的方法，包括如下步骤：将样品放置于样品室；将不同能量的正电子分别入射至薄膜发生湮没并分别搜集湮没产生的伽马射线能谱；根据伽马能谱计算正电子湮没参数；根据正电子湮没参数与入射正电子能量的关系，可拟合计算薄膜厚度。本发明运用正电子湮没手段，根据不同能量的正电子在薄膜不同深度湮没所得到的参数，可定量分析复合膜表面层的厚度，此方法可不破坏样品，属于无损检测。

主权项

一种无损检测复合膜表面功能层厚度的方法，其特征在于它包括如下步骤：(1)选取复合膜样品，清洁表面的功能层；(2)分别以不同的加速能量加速正电子，并使正电子入射至样品，收集正负电子湮没所产生的伽马能谱，所述加速能量范围为0.5～10keV；(3)从伽马能谱中计算得到不同加速能量E下的正电子湮没特征参数R，所述R值为光子能量在365keV～495keV范围内的总计数与光子能量在506keV～516keV范围内的总计数的比值；(4)以0.4keV～0.7keV能量范围的加速能量E所测得的R值进行平均得到R_top，以2.6keV～5.1keV能量范围的加速能量E所测得的R值进行平均得到R_sub；(5)以为纵坐标，以为横坐标拟合加速能量E和对应R值的关系的关系式，所拟合的关系式的斜率为ρ²d²/A²，其中ρ为复合膜的密度，常数A为4.5μg/cm²keV^‑1.6，根据所得斜率计算得到复合膜表面功能层厚度d。