[发明专利]一种制作金属网栅的工艺在审
| 申请号： | 201410229387.8 | 申请日： | 2014-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN105319836A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 张芳芳 | 申请（专利权）人： | 无锡嘉美达橡塑设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 徐鹏飞 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市惠山区惠山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子制造技术领域，尤其涉及一种制作金属网栅的工艺。本发明包括：步骤1、在衬底材料上涂覆光刻胶，用甩胶机甩胶，甩胶机工作的转速设置两组不同的转速；步骤2、用烘干机对甩胶后的衬底材料在加热箱中加热，加热温度为105℃-115℃，加热时间为3mins-5mins；步骤3、用曝光机对加热后的衬底材料进行曝光；步骤4、用与所述光刻胶配套的显影液对曝光后的衬底材料进行显影，显影时间为80s-100s；步骤5、用加热箱对显影后的衬底材料进行加热，加热温度为110℃，加热时间为5mins-10mins；步骤6、用刻蚀机进行干法刻蚀。本发明所述的工艺能够制作出较高精细度的金属网栅图形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 金属网 工艺 | ||
【主权项】：
一种制作金属网栅的工艺，其特征在于，包括：步骤1、在衬底材料上涂覆光刻胶，用甩胶机甩胶，甩胶机工作的转速设置两组不同的转速；步骤2、用烘干机对甩胶后的衬底材料在加热箱中加热，加热温度为105℃‑115℃，加热时间为3mins‑5mins；步骤3、用曝光机对加热后的衬底材料进行曝光；步骤4、用与所述光刻胶配套的显影液对曝光后的衬底材料进行显影，显影时间为80s‑100s；步骤5、用加热箱对显影后的衬底材料进行加热，加热温度为110℃，加热时间为5mins‑10mins；步骤6、用刻蚀机进行干法刻蚀。
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