[发明专利]一种抗反射内嵌式微纳金属互联线路及其制备方法有效
| 申请号： | 201410225309.0 | 申请日： | 2014-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN105142327B | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 徐厚嘉;杨恺;平财明;林晓辉 | 申请（专利权）人： | 上海蓝沛信泰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K1/02 | 分类号： | H05K1/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 201806 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抗反射内嵌式微纳金属互联线路及其制备方法，所述制备方法包括步骤：1）于基底表面形成柔性材料层，于所述柔性材料层表面形成有多个凹槽结构；2）于柔性材料层表面及各凹槽结构的中形成导电金属层，所述导电金属层表面具有与各凹槽结构对应的多个凹陷区域；3）于各凹陷区域中形成抗反射层；4）以所述抗反射层为掩膜对所述导电金属层进行刻蚀，以去除所述柔性材料层表面的导电金属层，于各凹槽结构中形成表面具有抗反射层的金属互联线路。本发明与现有技术相比，避免了多次刮印对器件表面的损伤，改善了外观，适用于对表面形貌要求高的触控产品工艺，本发明成本较低，可应用在触摸屏行业、天线制备及HDI板等行业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 式微 金属 线路 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗反射内嵌式微纳金属互联线路的制备方法，其特征在于，包括步骤：1)提供一基底，于所述基底表面形成柔性材料层，于所述柔性材料层表面形成有多个凹槽结构；2)于柔性材料层表面及各凹槽结构中形成导电金属层，所述导电金属层表面具有与各凹槽结构对应的多个凹陷区域；3)于各凹陷区域中形成抗反射层，所述抗反射层为包括黑油漆的非反光材料；4)以所述抗反射层为掩膜对所述导电金属层进行刻蚀，以去除所述柔性材料层表面的导电金属层，于各凹槽结构中形成表面具有抗反射层的金属互联线路。
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