[发明专利]磁场与电场相互垂直条件下磁化等离子体中微波和等离子体相互作用装置

摘要

磁场与电场相互垂直条件下磁化等离子体中微波和等离子体相互作用装置，涉及一种磁化等离子体中微波和等离子体相互作用装置，本发明为解决现有技术没有在不同磁化等离子体特征情况下，微波与等离子体相互作用装置的问题。本发明包括微波产生器、铁氧体隔离器、衰减器、定向耦合器、波导管、绝缘微波窗、真空腔、多个螺线管、膈膜、等离子体源、两个朗缪尔探针、截止管、匹配微波负载、环形天线、磁探针、静电探针，多栅探针和等离子体观察仪；等离子体源为火花等离子体源，产生的火花电压用于控制等离子体密度；衰减器用于调节微波功率。本发明用于研究不同磁化等离子体特性条件下微波盒等离子体的相互作用。

主权项

磁场与电场相互垂直条件下磁化等离子体中微波和等离子体相互作用装置，其特征在于，它包括微波产生器(1)、铁氧体隔离器(2)、衰减器(3)、定向耦合器(4)、波导管(5)、绝缘微波窗(6)、真空腔(7)、多个螺线管(8)、膈膜(9)、等离子体源(10)、两个朗缪尔探针(11)、截止管(12)、匹配微波负载(13)、环形天线(14)、磁探针(15)、静电探针(16)，多栅探针(17)和等离子体观察仪(18)；所述微波产生器(1)、铁氧体隔离器(2)、衰减器(3)和定向耦合器(4)依次相接，经过一90°角的转弯后接于波导管(5)，波导管(5)的上端开有绝缘微波窗(6)，波导管(5)的末端置有匹配微波负载(13)和环形天线(14)，波导管(5)的绝缘微波窗(6)与末端之间通过两个截止管(12)分别与两个真空腔(7)的首端连通，所述两个真空腔(7)通轴、且与所述波导管(5)相互垂直；螺线管(8)环绕排列于真空腔(7)的外侧，一个真空腔(7)内部设置有膈膜(9)，该真空腔(7)的末端设置有等离子体源(10)，且该真空腔(7)的侧壁上设置有朗缪尔探针(11)安装孔；另一个真空腔(7)内部设置有等离子体观察仪(18)，该真空腔(7)末端设置有环形天线(14)，该真空腔(7)上设有朗缪尔探针(11)安装孔、磁探针(15)安装孔、静电探针(16)安装孔和多栅探针(17)安装孔。