[发明专利]一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法

摘要

一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法，它有六大步骤：一、待处理管内壁涂层前清洁处理：二、组装一种电子增强等离子体放电管内壁涂层装置；三、完成对真空室的抽真空，通过惰性气体馈送管道通入惰性气体，再通过待处理管进入绝缘罩，通过质量流量控制器控制通入真空室中的惰性气体的流量；四、通过外加电源给阴极靶台提供负脉冲电压，并设定预定的电压值及占空比，完成对管内壁的清洗；五、通过粒子馈送管道通入气态或者汽态的沉积用的粒子，通过外加电源给阴极靶台提供负脉冲电压，并设定预定的电压值及占空比，完成对管内壁的涂层；六、完成对真空室的放气，取出待处理管，完成管内壁涂层。本发明在表面材料改性领域里有实用价值。

主权项

一种电子增强等离子体放电管内壁涂层的方法，其特征在于：该方法具体步骤如下：步骤一：待处理管内壁涂层前清洁处理：通过超声波清洗机对待处理管进行清洗，再用空气泵吹干管内壁；步骤二：组装一种电子增强等离子体放电管内壁涂层装置，对于沉积用的元素是固体或者液体，该装置由气体钢瓶，质量流量控制器，惰性气体馈送管道，加热腔体，加热装置，加热腔体外屏蔽罩,阀门加热装置，质量流量控制器，粒子馈送管道绝热装置，法兰盘，粒子馈送管道，绝缘短管，待处理管，绝缘罩，真空室，阴极靶台，工作台支架，真空泵排气口，绝缘陶瓷，待处理管出气口，点状阳极组成；待处理管的一端与端面中心开孔的绝缘罩相连，绝缘罩放置在由工作台支架支撑的阴极靶台上，绝缘陶瓷位于工作台支架与真空腔体之间，以上部件均放置在真空室中，通过机械泵及分子泵使真空室达到真空状态，气体通过真空泵排气口排出，另外工作台支架与真空室外的负脉冲电源连接，待处理管的另一端通过绝缘短管与接地的粒子馈送管道连接，粒子馈送管道与真空室之间通过法兰盘连接，沉积用的固态或者液态元素放置在加热腔体中，加热腔体的外部有加热装置，加热腔体外屏蔽罩在加热腔体的外部，沉积用的固态或者液态元素受热蒸发后通过粒子馈送管道通入真空腔体，其流量由质量流量控制器控制，并配有阀门加热装置，粒子馈送管道外壁有粒子馈送管道绝热装置；此外，惰性气体通过气体馈送管道通入加热腔体，流量由流量控制器控制；对于沉积用的元素是气体，真空室内的部分与上述一致，在真空室外，沉积用的气体在气体钢瓶中，气体粒子通过气体馈送管道通入真空室，气体流量由质量流量控制器控制，气体馈送管道与真空室之间通过法兰连接；步骤三：完成对真空室的抽真空，通过惰性气体馈送管道通入惰性气体，再通过待处理管进入绝缘罩，通过质量流量控制器控制通入真空室中的惰性气体的流量；步骤四：通过外加电源给阴极靶台提供负脉冲电压，并设定预定的电压值及占空比，完成对管内壁的清洗；步骤五：通过粒子馈送管道通入气态或者汽态的沉积用的粒子，再通过待处理管进入绝缘罩，通过质量流量控制器控制通入真空室中的气体流量，通过外加电源给阴极靶台提供负脉冲电压，并设定预定的电压值及占空比，完成对管内壁的涂层；步骤六：完成对真空室的放气，取出待处理管，完成管内壁涂层。