[发明专利]高复现性光学元件面形检测支撑装置

摘要

高复现性光学元件面形检测支撑装置，属于光学元件干涉检测技术领域。解决了现有技术中检测支撑装置和光学元件间存在接触副摩擦力，导致光学元件检测状态和最终使用状态不同的技术问题。本发明的支撑装置包括支撑盘和设置在支撑盘上的相同的支撑单元，支撑盘上设有圆形通孔和沿圆形通孔周向分布的至少三个相同的凹槽；凹槽相对的两个面上对称且平行设置有四片相同的柔性铰链；支撑单元包括球面凸台和两组相同的轴承结构；轴承结构包括轴承、销轴和销轴压板，轴承通过销轴和销轴压板固定在相对的两片柔性铰链上；球面凸台固定在光学元件的外圆周面上。本发明的支撑装置能够实现极高的面形复现性且对支撑的光学元件的受热和振动影响极小。

主权项

高复现性光学元件面形检测支撑装置，其特征在于，包括支撑盘(1)和设置在支撑盘(1)上的多个相同的支撑单元：所述支撑盘(1)上设有圆形通孔(13)和沿圆形通孔(13)周向分布的至少三个相同的凹槽(11)；所述凹槽(11)相对的两个面上对称且平行设置有四片相同的柔性铰链(2)；所述支撑单元的个数与凹槽(11)的个数相同，每个支撑单元包括球面凸台(3)和两组相同的轴承结构；所述轴承结构包括轴承(4)、销轴(5)和销轴压板(6)，所述轴承(4)通过销轴(5)和销轴压板(6)固定在相对的两片柔性铰链(2)上；所述球面凸台(3)固定在光学元件(8)的外圆周面上，球面凸台(3)放置于两个轴承(4)之间，球面凸台(3)与两个轴承(4)的接触面均为球面；每个凹槽(11)内的四片柔性铰链(2)和支撑单元构成了一个支撑点，每个支撑点与光学元件(8)的球面凸台(3)接触配合，提供光学元件(8)轴向平动和切向平动的约束，支撑装置对光学元件(8)提供了三个支撑点，六个自由度约束；光学元件(8)沿径向平动方向自由度、沿轴向转动方向自由度和切向转动方向自由度依靠柔性铰链(2)的自由变形实现，两组轴承结构与球面凸台(3)组成的点接触高副和转动副保证了光学元件(8)径向转动方向自由度无约束。