[发明专利]压力传感器无效
申请号: | 201410181410.0 | 申请日: | 2014-04-30 |
公开(公告)号: | CN103968972A | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 宋青林;张俊德;端木鲁玉 | 申请(专利权)人: | 歌尔声学股份有限公司 |
主分类号: | G01L1/00 | 分类号: | G01L1/00;G01L9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 261031 山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种压力传感器,包括外部封装结构,设置于所述外部封装结构内的压力传感器芯片和集成电路芯片,以及透气孔,所述透气孔连通所述压力传感器内外部,并且,本发明压力传感器还包括有缓冲部,所述缓冲部设置于所述外部封装结构内,压力传感器芯片通过缓冲部与基板固定,缓冲部的设置避免外部应力通过基板作用于压力传感器芯片上,在压力传感器装配、使用过程中,外部应力传递到基板后,经缓冲部缓冲卸掉,不作用于压力传感器芯片上,避免外部应力对压力传感器产生影响导致传感器误差,提高压力传感器精度,使压力传感器性能稳定。因此,本发明压力传感器具有性能优良的优点。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种压力传感器,包括外部封装结构,设置于所述外部封装结构内的压力传感器芯片,集成电路芯片,以及透气孔,所述透气孔连通所述压力传感器内外部,所述外部封装结构包括基板,其特征在于:所述压力传感器还包括缓冲部,所述缓冲部设置于所述外部封装结构内的所述基板上,所述压力传感器芯片设置于所述缓冲部远离所述基板一侧。
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