[发明专利]一种多孔微纳结构WO3气敏涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多孔微纳结构WO₃气敏涂层及其制备方法。该WO₃涂层的厚度为5~20μm，涂层中WO₃晶粒大小保持在50~250nm，并且WO₃晶粒自由堆积成微纳米多孔结构。本发明采用液相热喷涂工艺，通过液料输送装置将纳米WO₃液料送入热喷涂火焰，制得的WO₃涂层与传统方法获得WO₃涂层相比，其多孔微纳米结构得以保存，涂层具有更高的比表面积，有利于发挥WO₃涂层的气敏特性，在气敏传感器领域具有重要的应用价值。此外，本发明生产WO₃涂层的设备和工艺简单、易控，成本低廉，便于工业化生产，有望产生极大的社会经济效益。

主权项

1.一种多孔微纳结构WO₃气敏涂层，该涂层位于基底表面，其特征是：以WO₃悬浮液作为喷涂原料，将其送入出口直径为0.5~1.0mm的喷嘴，在恒流泵作用下，喷涂液料以15~30ml/min的速率进入火焰焰流，经过热喷涂沉积到基体表面，形成厚度5~20μm且具有多孔微纳结构的WO₃涂层。