[发明专利]具有微透镜的高效太阳能电池及其形成方法

摘要

本发明提供了一种具有微透镜的太阳能电池及其形成方法。该太阳能电池包括透明导电氧化物(TCO)结构，TCO结构具有上表面，该上表面包括平坦部分和形成多个离散的微透镜的多个凸形凸起部分。该微透镜使最大的太阳光量到达吸收层并且提高了该太阳能电池的效率。形成该太阳能电池的方法包括形成第一TCO层，接着在该第一TCO层上方形成多个离散的牺牲层部分，然后在该第一TCO层上方形成第二TCO层，但是该第二TCO层不包围离散的牺牲层部分。接着，去除牺牲层部分，保留离散的TCO凸起部分，随后通过酸蚀刻使离散的TCO凸起部分光滑。

主权项

1.一种用于形成太阳能电池的方法，所述方法包括：提供位于太阳能电池子结构上方的第一透明导电氧化物(TCO)层；在所述第一透明导电氧化物层上形成图案化的牺牲层；在所述第一透明导电氧化物层上方和所述图案化的牺牲层的一部分上方形成第二透明导电氧化物层；以及去除所述图案化的牺牲层，从而在所述第一透明导电氧化物层上方形成所述第二透明导电氧化物层的多个离散部分；其中，所述图案化的牺牲层包括多个位于所述第一透明导电氧化物层的上表面上的结构部件，并且形成所述第二透明导电氧化物层的步骤并未完全封装所述结构部件。