[发明专利]一种圆偏振光检测器及其制造方法有效
| 申请号： | 201410168246.X | 申请日： | 2014-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN103954363A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 鄢波;马洪锋;隋成华;刘险;魏高尧 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01J4/04 | 分类号： | G01J4/04 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种圆偏振光检测器，包括透明载体和嵌设在该透明载体内且同心布置的多个螺旋金属环，每个螺旋金属环由若干绕成环形的金属片组成；每个金属片具有边e、边f、边g和边h，边h和边f分别位于对应螺旋金属环的内外边界上，边e和边g分别位于两条以螺旋金属环圆心为起点的阿基米德螺旋线上。本发明还公开了上述圆偏振光检测器的制造方法。本发明利用螺旋金属环，实现了左、右旋光透过率的大消光比；利用一次光束或电子束曝光以及聚焦离子束刻蚀或反应刻蚀工艺便可实现亚波长尺度的金属螺旋环结构；本发明的圆偏振检测单元结构制备在同一基底上，便于超像素阵列的大规模集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振光 检测器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种圆偏振光检测器，其特征在于，包括透明载体和嵌设在该透明载体内且同心布置的多个螺旋金属环，每个螺旋金属环由若干绕成环形的金属片组成；每个金属片具有边e、边f、边g和边h，边h和边f分别位于对应螺旋金属环的内外边界上，边e和边g分别位于两条以螺旋金属环圆心为起点的阿基米德螺旋线上。
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