[发明专利]一种基于热流传感器各向异性薄膜热导率测试方法及装置

摘要

本发明公开一种基于热流传感器各向异性薄膜热导率测试方法及装置，测试平台的内部埋置多个热流传感器，测试平台的上表面上置放待测样品衬底，样品衬底的上表面上置放待测薄膜样品，加热头位于待测薄膜表面处，多个热流传感器在测试平台的水平方向上呈一字型等距离埋置，每个热流传感器的上表面与测试平台的上表面平齐；计算机在同一时刻分别记录多个热流传感器的热流测量值，根据傅里叶公式计算出待测薄膜在水平方向的平均热导率，将待测样品衬底和待测薄膜整体翻转，记录其中一个热流传感器的热流值，根据公式计算出待测薄膜垂直方向上的热导率；可以有效的一次性快速测量薄膜的水平及垂直方向上的热导率。

主权项

一种基于热流传感器各向异性薄膜热导率测试装置，包括测试平台（2）、测样品衬底（8），其特征是：测试平台（2）的内部埋置多个热流传感器，测试平台（2）的上表面上置放待测样品衬底（8），测样品衬底（8）的上表面上置放待测薄膜（9）样品，加热头（1）位于待测薄膜（9）表面处，每个热流传感器均通过各自的引出线引出并连接计算机。