[发明专利]一种反应腔室在审
| 申请号： | 201410128298.4 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN104979231A | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 马塔山 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反应腔室，在所述反应腔室的侧壁上设置有反应腔室观察窗。所述反应腔室观察窗包括观察窗盖板、观察窗玻璃和观察窗底座，观察窗底座固定在反应腔室的侧壁开口上，观察窗盖板与观察窗底座固定连接，观察窗玻璃位于观察窗盖板与观察窗底座之间。所述反应腔室观察窗还包括旋转轴和玻璃保护隔板，旋转轴设置在观察窗底座上，用于旋转玻璃保护隔板。玻璃保护隔板位于侧壁开口与观察窗玻璃之间并且固定在旋转轴上。本发明提供的反应腔室在观察完反应腔室内环境后，玻璃保护隔板能够将侧壁开口与观察窗玻璃隔离，保护观察窗玻璃不与扩散颗粒接触，从而避免对观察窗玻璃的颗粒沉积，延长观察窗玻璃的拆装和清洗周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反应 | ||
【主权项】：
一种反应腔室，在所述反应腔室的侧壁上设置有反应腔室观察窗，其特征在于，所述反应腔室观察窗包括观察窗盖板、观察窗玻璃和观察窗底座，所述观察窗底座固定在反应腔室的侧壁开口上，所述观察窗盖板与观察窗底座固定连接，所述观察窗玻璃位于观察窗盖板与观察窗底座之间；所述反应腔室观察窗还包括旋转轴和玻璃保护隔板，所述旋转轴设置在所述观察窗底座上，用于旋转所述玻璃保护隔板，所述玻璃保护隔板位于所述侧壁开口与观察窗玻璃之间并且固定在所述旋转轴上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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