[发明专利]干燥装置及干燥处理方法

摘要

本发明提供一种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、与支承在载置台（3）上的基板（S）相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部（5）、以及控制部（6）。溶剂收集部（5）还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置（7）。溶剂收集部（5）包括与载置在载置台（3）上的基板（S）相对且与该基板（S）的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板（50）。在收集板（50）中形成有多个贯通开口（50a）。

主权项

1.一种干燥装置，其除去被涂敷在基板的表面上的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥，其特征在于，该干燥装置包括能够抽成真空的处理容器、用于排出上述处理容器内的气体的排气口、用于在上述处理容器内支承上述基板的支承构件、以及用于收集自上述有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部，其中，上述溶剂收集部包括与支承在上述支承构件上的上述基板相对地设置的、具有多个贯通开口的一张或者多张金属板，上述金属板配置在从上述处理容器的顶部分开的位置，上述溶剂收集部具有用于使收集的溶剂脱离的溶剂脱离装置，上述溶剂脱离装置是用于向上述金属板喷射气体的气体喷射装置。