[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置、压电元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种液体喷射头、液体喷射装置、压电元件及其制造方法，用于抑制电极、布线层的剥离且抑制压电体层的损伤来降低成本。上述液体喷射头具备：流路形成基板（10），其具有与喷射液体的喷嘴开口（21）连通的压力产生室；以及压电元件（300），其设置于该流路形成基板（10）上且具备压电体层（70）、电极（60、80）、和与该电极（60、80）连接的布线层（90），上述布线层（90）具备：第一层（191），其通过预处理形成于上述流路形成基板（10）侧且含有钯；以及第二层（192），其通过非电解镀形成于该第一层（191）上且含有镍。

主权项

一种液体喷射头，其特征在于，具备：流路形成基板，其具有与喷射液体的喷嘴开口连通的压力产生室；以及压电元件，其设置于该流路形成基板且具备压电体层、电极和与该电极连接的布线层，所述布线层具备：第一层，其通过预处理形成且含有钯；以及第二层，其通过非电解镀形成于该第一层上且含有镍。