[发明专利]一种还原炉运行控制方法有效
| 申请号： | 201410066852.0 | 申请日： | 2014-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN104860315B | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 梁国东;王文;邹分红;梁立刚;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;G05D23/30 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 罗建民,邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种还原炉运行控制方法，该方法包括将还原炉内的初始压力设置为0.45‑0.6MPa，初始温度设置为1120‑1150℃；控制三氯氢硅和氢气持续进料，形成混合气，并在还原炉运行过程中，将所述混合气持续输送至还原炉内，以使所述混合气在还原炉内持续进行反应；在将所述混合气输送至还原炉的0‑5小时内，将还原炉内的温度控制在900‑1100℃；当所述混合气在还原炉内反应到30‑60小时时，根据还原炉内热场分布和气场分布，每间隔一段时间对还原炉内各层硅棒施加不同强度的电流，以保证还原炉内热场均衡和气场均衡，并将还原炉内的温度保持在900‑1100℃，直至还原炉停炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 还原 运行 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种还原炉运行控制方法，其特征在于，硅棒在还原炉内分层分布，所述方法包括以下步骤：将还原炉内的初始压力设置为0.45‑0.6MPa，初始温度设置为1120‑1150℃；控制三氯氢硅和氢气持续进料，形成混合气，并在还原炉运行过程中，将所述混合气持续输送至还原炉内，以使所述混合气在还原炉内持续进行反应；在将所述混合气输送至还原炉的0‑5小时内，将还原炉内的温度控制在900‑1100℃；当所述混合气在还原炉内反应到30‑60小时时，根据还原炉内热场分布和气场分布，每间隔一段时间对还原炉内各层硅棒施加不同强度的电流，以保证还原炉内热场均衡和气场均衡，并将还原炉内的温度保持在900‑1100℃，直至还原炉停炉；初始将所述混合气输送至还原炉时，所述混合气中氢气与三氯氢硅的摩尔比为2‑10：1；在将所述混合气输送至还原炉的0‑5小时内，将所述混合气中氢气与三氯氢硅的摩尔比调整为2‑5：1，并保持该摩尔比；在还原炉停炉前5‑10小时，将输送至还原炉的混合气中氢气与三氯氢硅的摩尔比调整为3‑5：1，直至还原炉停炉。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新特能源股份有限公司，未经新特能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410066852.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
