[发明专利]半导体工艺的指令执行的控制方法及控制装置

摘要

本发明公开了一种指令执行的控制方法，包括对每一个指令创建对应的指令对象和对应的状态对象，其中指令对象中存储其对应指令的指令信息，状态对象中存储其对应指令的状态信息，状态信息包括指令完成条件及指令执行状态；接收所述上位机发出的指令；根据该指令对应的指令对象中所存储的指令信息控制半导体设备执行该指令，并在该指令对应的状态对象中所存储的指令完成条件满足时更新该状态对象中的指令执行状态；当指令执行状态更新时，将更新的指令执行状态输出至上位机。本发明可实现多个指令的多线程执行以及执行状态的反馈。

主权项

一种指令执行的控制方法，用于在半导体工艺过程中控制半导体设备执行上位机发出的指令并向所述上位机反馈指令执行状态，其特征在于，所述控制方法包括：对每一个指令单独创建对应的指令对象，所述指令对象中存储其对应指令的指令信息，所述指令信息包括指令名称，指令执行条件，指令执行步骤，指令执行地址；对每一个指令单独创建对应的状态对象，所述状态对象中存储其对应指令的状态信息，所述状态信息包括指令完成条件及指令执行状态；接收所述上位机发出的至少一个指令；根据该指令对应的指令对象中所存储的指令信息控制所述半导体设备执行该指令，并在该指令对应的状态对象中所存储的指令完成条件满足时更新该状态对象中的指令执行状态；当所述指令对应的状态对象的指令执行状态更新时，将更新的所述指令执行状态输出至所述上位机。