[发明专利]一种超声键合压力的识别方法

摘要

一种超声键合压力的识别方法，属于超声键合技术领域，键合压力的增加，超声电压包络幅值逐步增大，而电流包络幅值逐步减小，根据其相互变化建立公式评估键合压力；键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加，间隔为0.1N。一共安排了6组实验，其它3个工艺参数固定为键合时间15ms，超声功率25mW，加载温度200℃。F=λFnΣi=1nxi/yi]]>式中F——键合压力评估值；n——数据长度；xi，yi——超声电压信号和电流信号，i=1,2,…,n；λF——调整系数。实验时每组实验对应一个压力点，每组实验分别测量10个样本，通过多组数据的计算，取其平均值，得到均值λF，最后就可以得到计算超声键合压力的计算公式值了。

主权项

一种超声键合压力的识别方法，其特征在于：键合压力的增加，超声电压包络幅值逐步增大，而电流包络幅值逐步减小，根据其相互变化建立公式评估键合压力；键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加，间隔为0.1N，一共安排了6组实验，其它3个工艺参数固定为：键合时间：15ms，超声功率：25mW，加载温度：200℃；式中：F —— 键合压力评估值；n —— 数据长度；xi，yi—— 超声电压信号和电流信号，；—— 调整系数；实验时每组实验对应一个压力点，每组实验分别测量10个样本，通过多组数据的计算，取其平均值，得到均值γ，最后就可以得到计算超声键合压力的计算公式值了。