[发明专利]制造包括至少两个不同的功能性高度的一体式微机械构件的方法有效
| 申请号： | 201410049720.7 | 申请日： | 2014-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN103979483B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | A·弗辛格;M·斯特兰策尔 | 申请（专利权）人： | 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 高美艳,吴鹏 |
| 地址： | 瑞士勒*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造包括至少两个不同的功能性高度的一体式微机械构件（31，41，61，91）的方法。根据本发明，所述方法（1）包括在单个高度上的LIGA工艺以及对直接在衬底（2）上的LIGA沉积物进行机加工的工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 包括 至少 两个 不同 功能 高度 一体 式微 机械 构件 方法 | ||
【主权项】：
一种制造包括至少两个不同的功能性高度的一体式微机械构件（31，41，61，91）的方法（1），其特征在于，该方法包括下述步骤：a）形成硅衬底（2），该硅衬底的顶表面（4）是导电的；b）利用光敏树脂（6）构造模具以形成腔（8），所述腔的基部由所述导电的顶表面（4）形成；c）通过电铸填充所述模具的腔（8），以形成金属部件（21，51，81）；d）选择性地对所述金属部件（21，51，81）的一部分进行机加工，以形成具有至少两个不同的功能性高度的一体式微机械构件（31，41，61，91）；e）将所述微机械构件（31，41，61，91）从所述硅衬底（2）和所述光敏树脂（6）释放出来。
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