[发明专利]检测装置及其检测窗口清洁方法有效
| 申请号： | 201410046580.8 | 申请日： | 2014-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN104096689A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 林芳旭;黄子展 | 申请（专利权）人： | 万润科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;G01D21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 孙英杰;陈亮 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种检测装置及其检测窗口清洁方法，包括:一测盘，其周缘设有可供载置组件的载槽；一限位件，其上设有一镂空状限位区间，并设于测盘周缘载槽外侧，限位件上设有一检测区间；一覆载组件，其上设有一镂空状操作区间，并设于测盘周缘载槽及限位件上方，其上设有一具透明的检测窗口的窗口机构，执行一使检测窗口与限位件检测区间呈相对滑动位移进行脏污刮除的步骤，以及一使检测窗口回复原位的步骤，而完成检测窗口的清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 及其 窗口 清洁 方法 | ||
【主权项】：
一种检测窗口清洁方法，使用在机台台面设有测盘以利用测盘周缘载槽间歇性输送组件进行检测的设备中，该测盘周缘设有其上形成一检测区间的限位件；限位件上方设有一其上设透明检测窗口的覆载组件，在清洁该检测窗口时执行以下步骤，包括:一使检测窗口与限位件检测区间呈相对滑动位移进行脏污刮除的步骤；一使检测窗口回复原位的步骤；藉由以上步骤的执行，完成检测窗口的清洁工作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于万润科技股份有限公司，未经万润科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410046580.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于消失模铸造成形机除静电排屑吸尘装置
- 下一篇：吸附式硅片涂布旋转台
