[发明专利]一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法有效
| 申请号： | 201410034109.7 | 申请日： | 2014-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN103757613A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 程江;张洪涛;王祺;杨鑫;柳红东 | 申请（专利权）人： | 重庆文理学院 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 重庆弘旭专利代理有限责任公司 50209 | 代理人： | 文巍 |
| 地址： | 402160 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，其特征在于：所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。本发明以碱性的锌铵溶液为前驱液，采用喷雾热解法，以可移动加热平台作为加热源，可以在130℃左右制备出结晶性质优良的ZnO薄膜，具有不伤衬底，低成本，无污染，无毒无害，工艺简单，能大面积制膜等优点。工艺中衬底材料的选择范围大，所受限制小，若以柔性的有机薄膜为衬底，使用特殊的传送装置，可以实现卷对卷生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 制备 氧化锌 电子 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种低温制备氧化锌电子薄膜的方法，采用喷雾热分解法，包括配制前驱液、薄膜沉积步骤，其特征在于：所述前驱液为锌铵[(Zn(NH3)4](OH)2溶液。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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