[发明专利]一种板上芯片封装键合自动生产线

摘要

一种板上芯片封装键合自动生产线，属于半导体后封装技术领域，为节省人力资源而发明。其包含最少两台键合机（50）、键合前处理设备、键合后处理设备、有机械手和运输带参与构成的输送装置、以及传感器和控制器；其特征是所有键合机（50）同向沿一直线排列；于所有键合机的对应位置，键合前运输带（10）和键合后运输带（90）并排分别设置且均平行于该直线；每台键合机配套一个机械手（45），其作业区域涵盖该台键合机的键合工位（501）、键合前运输带（10）和键合后运输带（90）。

主权项

一种板上芯片封装键合自动生产线，包含最少两台键合机(50)、键合前处理设备、键合后处理设备、有机械手和运输带参与构成的输送装置、以及传感器和控制器；所有键合机(50)同向沿一直线排列；于所有键合机的对应位置，键合前运输带(10)和键合后运输带(90)并排分别设置且均平行于该直线；每台键合机配套一个键合工位工件装卸机械手(45)，其作业区域涵盖该台键合机的键合工位(501)、于该台键合机的对应位置的键合前运输带(10)和键合后运输带(90)；其特征是：配套每一台键合机(50)，分别有一个键合机在线配套装置；该键合机在线配套装置包含前述键合工位工件装卸机械手(45)、一个作为前述键合前运输带(10)的局部的键合前运输带机前节段(105)、一个作为前述键合后运输带(90)的局部的键合后运输带机前节段(905)；前述键合工位工件装卸机械手(45)具有如下结构：其包含一组平行摆臂(451)；该平行摆臂(451)的两个摆轴(450)位于同一水平面且平行于工件行进方向；平行摆臂的摆动端铰连一连杆；连杆上固装滑轨；滑轨上有滑块(454)；滑块(454)下方固装一水平滑道，水平滑道的下方一侧固装有定抓爪(4561)；水平滑道内安装有滑杆(459)，滑杆(459)的一端下方固装有动抓爪(4562)；前述摆轴(450)的驱动装置为步进电机，滑块(454)的驱动装置为步进电机和同步带，滑杆(459)的驱动装置为抓爪气缸(4560)。