[发明专利]设定测试针压的方法有效
| 申请号： | 201410022551.8 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN104793118B | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 包宏武 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 牛峥,王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种设定测试针压的方法，应用于包括探针台卡盘、探针卡探针和测试机的测试系统中，该方法包括预先在测试机中设定容许探针最后未接触卡盘和开始接触卡盘时卡盘的高度差为第一容许值；容许探针开始接触卡盘时和探针开始接触卡盘后卡盘的高度差为第二容许值；容许探针开始接触卡盘时和最后全部接触卡盘时卡盘的高度差为第三容许值；在卡盘逐渐上升的过程中，测试机根据所读取的卡盘高度，以及探针接触卡盘的状态，依次判断不超过第一容许值、第二容许值、第三容许值时，完成测试针压的设定。采用本发明能够科学准确地进行测试针压的设定。 | ||
| 搜索关键词： | 设定 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种设定测试针压的方法，应用于包括探针台卡盘、探针卡探针和测试机的测试系统中，该方法包括：预先在测试机中设定容许探针最后未接触卡盘和开始接触卡盘时卡盘的高度差为第一容许值；容许探针开始接触卡盘时和探针开始接触卡盘后卡盘的高度差为第二容许值；容许探针开始接触卡盘时和最后全部接触卡盘时卡盘的高度差为第三容许值；在卡盘逐渐上升的过程中，测试机根据所读取的卡盘高度，以及探针接触卡盘的状态，依次判断不超过第一容许值、第二容许值、第三容许值时，完成测试针压的设定。
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